方案描述
项目简介
自主研发的微型湿度传感器，芯片面积小（3mm3mm），响应速度快（30%-70%RH阶跃变化的响应时间最短为0.8s），制作工艺简单（只需两步光刻工艺），感湿介质廉价、已获取、长期稳定性好，便于大批量生产。适合于工作温度在室温~200℃范围的便携式消费电子与、农业、气象、汽车等场合的湿度检测应用。
技术成熟度
应用范围
投产条件和预期效益
合作方式
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