微电子芯片结构关键尺寸（CD）测试的技术是半导体集成电路以及其他微电子工艺制造中的关键技术。采用光学技术及相关算法软件的关键尺寸测试/分析（简称OCD）是最经济也是唯一能实现生产线在线检测的方法，是集成电路基础产业链中一个不可替代的重要环节。基于此技术的测试设备制造/服务企业主要在硅谷，如KLA-Tencor, Nanometrics等。半导体集成电路(包括光电集成等新)技术的发展，不断对测试技术提出新的要求。因此该技术一直在更新发展之中。目前国内集成电路产业迅速发展，但多数相关设备都需要进口，OCD技术设备也是其中之一（100%进口），而国内的相关技术基础已经具备。同时该技术还可服务于新材料、工艺方面的科学研究。对于国家半导体产业的布局以及IT技术相关产业链的建立，具有重大的意义。

成熟，可实现产业化。

大规模集成电路中关键尺寸测试/分析；其他微电子、光电子结构，以及相关技术研究中一些新材料（如光子晶体等）关键参数的测试/分析。

该技术产品及服务的市场5亿美元/年以上，目前国内空白，只要有10%的市场就能有较好的效益。

股份合作、共同申报国家项目，或其他合作方式。