特点:1.暗电流低。利用异质结分离效应,光敏直径75微米芯片的暗电流可达到0.1nA。2.光响应度高。1310nm 达0.85~0.90 A/W,1550nm达0.95~1.05 A/W。3.频率高。光敏直径75微米芯片的截止频率为2.5GHz以上。4.性能可靠。采用氧化铝为钝化掩膜,芯片性能在10年以上。5.制造成本低。采用开管锌扩散工艺,大大节省了成本和时间。
主要技术指标:InGaAs/InP PIN 光电探测器芯片(以光敏直径75微米为例)的主要参数:工作波长:1.30~1.55微米; 工作电压:-5伏;响应度:0.85~1.05A/W(在1.31~1.55微米); 暗电流:~0.5nA(10-9安培);响应时间:80~120ps (皮秒); 总电容:1.1pF (VR= -5V, f = 1MHz);反向击穿电压:≥ 20伏; 工作寿命:~100万小时。
本芯片制造技术已经逐渐成熟,完成了实验室小试、中试,工业化试生产,以及小批量供应国内外用户使用得到好评。
光电探测器是将光信号转换为电信号的主要器件,广泛应用在光纤通信网络的光交换机、光接收端机、中继站,移动通信网络的光直放站,计算机网络中的光纤收发器、光纤网卡、光交换机、光集线器,有线电视网络的光接收机、光工作站、中继站等设备中和半导体激光器稳定驱动电路中。总之,只要有光和光纤的地方就需要有光电探测器。
投产条件:
1、作伙伴最好是半导体器件厂家,已经具有平面工艺生产线设备。
2、投产资金:600~1000万元(含设备和流动资金,不含土建)。
预期经济效益:
成本预算:
国产2英寸InGaAs/InP 外延片约 6000元/片,进口约8000~12000元/片。
芯片工艺成本约1000元/片。
芯片产值预计:
每个外延片约有8100个管芯,按成品率75%计算,可产管芯6000只。以最常见的光敏直径75微米芯片为例,最低单价管芯1.5美元/只。一片2英寸外延片可获产值约7万元,利润约4~5万元。按设备能力每天至少可生产一片,如果有定单可在2年内回收投资。
技术转让或合作开发。