方案描述
项目简介
耐ArF、F2深紫外激光辐照特种石英玻璃。
ArF准分子激光193nm的透过率大于90%。
F2准分子激光157nm的透过率大于80%。
ArF、F2深紫外激光辐照时，玻璃不产生结构缺陷，不发出红色荧光。
技术成熟度
掌握了控制性能的关键技术。除了纯度以外，OH、H2含量范围、均匀性的控制及其关键技术。
应用范围
深紫外光刻、光制导等。
投产条件和预期效益
根据要求形状以及尺寸，投产条件不同。
合作方式
各种研发合作方式。欢迎洽谈。
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