研究方向/领域 :

半导体技术（计算物理、MEMS/NEMS系统设计及仿真、MEMS制造工艺与设备、半导体工艺设备设计与制造）；半导体材料外延工艺

服务企业、产业相关工作成效、研究成果与荣誉：

甘志银，华中科技大学教授，广东众元半导体科技有限公司总经理。主持研制的“半导体照明用生产型MOCVD设备”获广东省科技成果鉴定“国际先进水平”评价，成果获得“广东省高新技术产品”证书、佛山南海区科技进步一等奖、入围中国照明学会 “中国LED首创奖”。主持了4项广东省重点支持科研和产业化项目；负责了1项973项目子课题，2项863先进制造项目，2项国家自然科学基金项目。从事研究工作以来，发表的主要学术论文15篇，其中SCI收录的有11篇。以第一申请人申请专利20余项，已获得授权发明专利3项、实用新型6项。被评为“优秀科技工作者”、市区高层次一级人才、市创业领军人才。

甘志银教授近五年主持了“MOCVD新型反应腔设计、LED缺陷抑制和量子效率调控”等1项973项目子课题，2项863先进制造项目，2项国家自然科学基金项目，已结题验收四项。同时负责了“高产能智能MOCVD设备的研制及产业化”等4项广东省重点支持科研和产业化项目，至今已验收通过三项。

他带领的研发团队研制的半导体照明用生产型MOCVD设备，经过行业内专家学者组成的鉴定委员会鉴定，一致通过：该成果达到国际先进水平。于2013年7月获得广东省科技厅“科技成果登记证书”，同年获得“广东省高新技术产品”证书，2014年获得佛山南海区科技进步一等奖，同年得到中国照明学会、半导体照明技术与应用专业委员会授予“中国LED首创奖”成为行业的标杆产品。该成果目前已进入市场，并受到客户好评。

在自主研发的生产型MOCVD设备的基础上，他带领团队开发了高产能智能MOCVD设备，该设备优化设计了反应腔体，在反应腔体设计、气体输运方式、模块化制造及自主设计的光学在线监控仪表等方面更具有创新性和实用性；LED外延生长工艺指标测试表明，该设备解决了LED产业上游核心装备国产化、产能化的关键技术问题；设备经过LED芯片生产企业的初步试用，性能指标接近或达到了国际同类设备的技术水平，在生长量子阱能力和均匀性等方面更具优势，对国内LED行业的发展及市场化运作有极大促进作用。

利用研制MOCVD积累的技术，他于2016年开始带领团队自主研制开发了用于生长高质量金刚石薄膜的MPCVD化学气相沉积设备，并利用该设备进行了应用产品的开发，已获得高品质的单晶金刚石样品。MPCVD设备是生长CVD金刚石膜的主流设备。金刚石被称作是终极半导体材料，不仅在中国芯、半导体、金刚膜等产业有着广泛应用前景，同时也能为国家战略新兴产业的高端装备制造产业——航空装备工业、卫星产业、轨道交通设备制造业、海洋工程装备制造业、智能制造装备及精密机床业提供材料保障。因此，基于微波等离子体CVD方法生长金刚石的产业化项目，属于国家大力支持的“新材料产业”。基于它的优异性能，金刚石在现代高科技领域有着非常广阔的应用前景，MPCVD设备的发展也随之“水涨船高”，符合国家多个重点支持领域。本单位研制的新型MPCVD设备具备高质量金刚石膜的生长装置所需的特点，具有自动化、智能化程度高的优势，属于高端生产型MPCVD设备，已经通过客户现场试用验证。由于该MPCVD设备取得的成果受到客户高度认可。

利用研制MOCVD积累的技术，他带领团队自主研制开发了用于生长高质量金刚石薄膜的MPCVD化学气相沉积设备，并利用该设备进行了应用产品的开发，已获得高品质的单晶金刚石样品。由于该MPCVD设备取得的成果受到客户高度认可，公司于2018年7月再次获得一项公开招投标项目的重大合同订单，项目以MPCVD生长金刚石材料为基础，围绕超高真空MBE腔体，高度集成了其它多项科学研究仪器。该设备将不仅有助于我国在薄膜生长领域走到世界领先，直接给为中国高端装置的提升带来跨越式发展，同时大大促进物理、化学和生物等学科的发展。

甘志银教授从事研究工作以来，发表的主要学术论文15篇，其中SCI收录的有11篇。以第一申请人申请专利20余项，已获得授权发明专利3项、实用新型6项。在任职期间，新增发明专利申请11项，授权5项；实用新型专利申请5项，授权5项；外观专利申请1项，授权1项；新工艺1项；新产品3项；新装备6项；计算机软件1项；论文论著2项。

甘志银教授被评为“优秀科技工作者”、佛山市南海区高层次一级人才、佛山市创业领军人才。培养了多名博士、硕士、副高级工程师等专业人才。公司被认定为广东省高新技术企业。

研究成果与项目：

甘志银教授研究专长跨越半导体设备技术（计算物理、MEMS/NEMS系统设计及仿真、MEMS制造工艺与设备、半导体工艺设备设计与制造）、机械制造工艺、以及半导体材料外延工艺（深紫外LED外延、金刚石薄膜外延等）领域，具有深厚的科学研究实力。

其主持的“半导体照明用生产型MOCVD设备的自主研制”，获广东省科技成果鉴定“国际先进水平”评价，成果获得广东省“科技成果登记证书”、“广东省高新技术产品”证书、佛山南海区科技重大成果一等奖、入围中国照明学会 “中国LED首创奖”。主持了广东省4项省级重点支持科研和产业化项目；并负责了1项973项目子课题，2项863先进制造项目，2项国家自然科学基金项目。主要科研项目如下：

1）MOCVD新型反应腔设计、LED缺陷抑制和量子效率调控 ；

2）半导体照明用生产型MOCVD设备的自主研制；

3）高产能智能MOCVD设备的研制及产业化；

4）基于定向生长CNT电磁对准的感应热压键合技术研究 ；

5）面向跨微纳尺度MEMS设计的建模仿真平台研究；

6）100lm/W 功率型白光LED 研究和产业化；

7）薄膜生长缺陷跨时空尺度原位/实时监测与调控实验装置 。