孙道恒

教授 厦门大学

研究方向/领域 :

微纳机电系统(MEMS/NEMS)、电液动力微喷印系统、微流控系统、微纳3D打印、超高速飞行器表面柔性传感系统


服务企业、产业相关工作成效、研究成果与荣誉:

厦门大学特聘教授,厦门大学副院长,博士生导师。

1987、1990、1997年分别获东北大学学士、硕士、博士学位;

1997~1999年西南交通大学力学博士后流动站研究人员。

1990~1997年于东北大学机械原理与机械零件教研室任助教、讲师。

1999年6月加盟厦门大学机电工程系任副教授,2001年任教授。

曾任厦门大学机电工程系副主任、主任。

2004.1~2005.12年受Berkeley Scholarship Program 资助,作为访问学者于加州大学伯克利分校机械工程系(BSAC)从事MEMS/NEMS研究。

兼任中国微米纳米技术学会理事、中国机械工程学会机械设计分会理事、中国电子学会电子机械工程委员会委员、市微机电研究会理事长、《振动、测试与诊断》、《电子机械工程》编委、IEEE NEMS组委会主席、指导委员会委员及程序委员会委员、IEEE NEMS程序委员会委员、SPIE Photonics Asia程序委员会委员等职。《光电工程》编委;中国微米纳米技术学会理事;全国微机电标准化委员会委员;福建省机械工程学会副理事长;福建省微納制造工程技术研究中心学术委员会委员;机械工业教育协会教学委员会委员;市仪器仪表学会常务理事;航天智能制造研究院专家委员会主任。

主持与完成国家自然科学基金、863计划项目、教育部重大、福建省/厦门市各类科技计划项、校企合作等项目。

申请国家发明专利100余项,在Nano Letter、APL、NanoScale等刊物上发表论文230余篇。


研究成果与项目:

近年来,在微纳机电系统(MEMS/NEMS)、聚合物液膜电纺直写/喷印、电场诱导纳米纤维有序化沉积、纳米液滴静电喷射、微纳米结构电纺直写系统、柔性电子制造技术、微纳3D打印、新能源制造技术等方面开展了深入研究工作,提出的近场静电纺丝的思想,被Science Daily等国外媒体广泛报道,称其为Sun-Lin方法,结束了72年的传统无序化纳米纤维电纺时代。开发出的EHD直写、纳米纤维沉积控制、液滴喷射技术也展示出广阔的应用前景。主要成果如下:

1. 系统掌握了MEMS领域Si基、SiC基器件关键工艺。

2. 在国际上率先提出近场静电纺丝原理,使电纺控制成为可能。

3. 在国内率先开展批量化静电纺丝研究,先后开发出针尖、滚筒和诱导等型式批量化电纺设备,生产效率提高近340倍,主要技术指标超过国际最先进设备。

4. 突破压电驱动高精密喷胶头设计、制造与控制技术,研发出高速、高黏度流体喷射设备,实现400Hz、胶点直径300μm等国际领先指标;提出金属液滴喷射的电磁驱动方法,实现微米尺度金属液滴按需喷射。

两项技术得到微电子封装业界认可,已与**公司达成转化意向。


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